無塵室中的維護性

　　乙烯基有一作用即脫氧，但高濃度乙烯基與其它物若混PAO測試合的話將會庫板隔間有減低脫氧的效果，而無塵室的牆若以鋁作為材料則將會非常昂貴，但鋁卻可以保護牆面不被空氣所氧化，可是卻易受酸性氣體的侵蝕，而避免的方法是使用電鍍，便鋁表面增厚，不易氧化，再在鋁表面上再塗上一層亮光漆即可防止金屬氧化。

　　對於半導體工業而言，無塵室是一必要且不可缺之設備，其對空氣中的粒子要求非常之嚴格，故對天花板、牆壁、地板的要求無塵室工程亦非常嚴格。地板是人員、台車及重量的運輸，而清除地板所用者大部分為消毒耐高溫過濾網藥品及化學藥品，當我們看見地板磨損時，也就是使用期已太久，快破裂了，不僅會使得清靜度的降級，也會因地板的磨損而發生空氣中粒子的增加。

FFU　　另外，C/R最怕的就是粒子泄漏。天花板中的濾網有很多種。例如層流式C/R而花板的組成組件包含了HEPA/ULPA濾網組燈光組亦有可能包含空白的嵌板，這類型的天花板優點為，放置方式並沒有嚴格的限制。

　　C/R之牆壁還有一種是以薄鋼制成，但必須在表層塗上一層保護層，否則亦會腐蝕，它並不容易電鍍，而在表層塗上的保護層會變得易碎，很容易剝落，但若選擇高質量的不鏽鋼，就不必塗上保護層7，而使用濾網製造商玻璃作的C/R會使得房間的光線大增，以及美觀，但必須塗上一抗紫外線的障礙物，且可以視覺互通，較不會產生幽閉恐懼症。