(l)耐久性;(2)成本;(3)適
庫板隔間應性;(4)可維護性;(5)清洗。
(1)耐久性:
無塵室要有符合環境、無塵室內部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統的耐久材料。而耐久性,同時也依賴無塵室等級來建造。半導體Fabs傾向選擇鋁,基於它的耐久性,然而,它不是便宜的物質。
(2)清洗:
在制藥和生物工學工業,無塵室的牆壁需要有容易被清洗和擦
無塵室工程拭,直到防止濾過性病毒或細
PAO測試菌的污染之特性。在biotech市場,清洗真正地是一個最重要的企
耐高溫過濾網業。
(3)成本:
微電子C/R建設費可能花費到$10億。fab能更快的被建造起來,產品也就能更快達到這市場。許多半導體的口號是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個很重要的考慮因素。
(4)適應性:
一些廠商認為適應性可節省一筆金錢,而適應性意指系統可任意移動或改變而不會招致極大
FFU的損失。C/R的擁
濾網製造商有者和設計者的能力為改變一C/R的關鍵,所以他們從不將最初的設計定型。
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